掃描電鏡是用電子打在樣品上，用電子束成像。這主要是因?yàn)殡娮拥牟ㄩL(zhǎng)小，光的波長(zhǎng)在400到700納米量級(jí)，而電子的波長(zhǎng)公式是 lambda=h/(mv)，一般用的電壓是80kV 到 300kV，電子的波長(zhǎng)就是在0.01納米左右，和原子的大小接近。更短波長(zhǎng)的好處，是可以觀測(cè)到更小尺寸的東西，否則會(huì)因?yàn)椴ǖ难苌浜透缮鏌o法分辨。通常看到的生物樣品，和高倍昆蟲圖片，是用掃描電鏡拍到的，實(shí)際上這是電子顯微鏡中放大倍數(shù)低的，純科普的。這些其實(shí)還可以用光學(xué)顯微鏡看。我們說的「顏色」是可見光的顏色，對(duì)于電子來說，它不是光，因此沒有顏色一說。因此樣品成像無顏色
掃描電子顯微鏡目前廣泛的用途是看電子元件，像CPU現(xiàn)在都是25納米制程，這些的檢查都是用高分辨率的掃描電鏡。還有一些生物樣品，比如骨頭斷面組織之類也會(huì)用到掃描電鏡。還有納米線的形貌像（外觀）。
掃描電鏡方法：
掃描電鏡方法是利用掃描電鏡對(duì)樣品的結(jié)構(gòu)和性能進(jìn)行分析的方法。掃描電鏡的基本部件有透鏡系統(tǒng)、電子槍、電子收集器、觀察和記錄影像的陰極射線管等。其基本原理是用極細(xì)的電子束在樣品表面上掃描，然后按電視原理放大成像，顯示在電視屏幕上。
當(dāng)電子轟擊樣品表面時(shí)會(huì)產(chǎn)生各種信號(hào)，其中包括二次電子、背散射電子和不同能量的光子等。這些信號(hào)來自樣品的特定發(fā)射區(qū)域，它隨表面形貌的不同而變化。從而可以獲得樣品的成份、表面形貌、晶體結(jié)構(gòu)等信息。掃描電鏡的特點(diǎn)之一是，用它檢驗(yàn)大塊樣品時(shí)能獲得高的分辨率，商品儀器可達(dá)50埃，專用儀器可達(dá)25埃。特點(diǎn)之二是，利用掃描電鏡的大景深可獲得樣品的三維形態(tài)。這對(duì)生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等特別有價(jià)值。
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